问
国内18条主流MEMS产线统计来源：收藏MEMS在整个物联网产业中处于核心位置，
国内18条主流MEMS产线统计 来源：收藏MEMS在整个物联网产业中处于核心位置，MEMS产线又是整个MEMS产业发展的基础。
在“一种器件、一种工艺”的特性下，MEMS产线的成熟度，将决定未来国内MEMS产业的竞争力。
本文统计了目前公开信息可查的国内18条主要的MEMS产线，涵盖晶圆代工厂和IDM产线，工艺也基本涵盖了目前MEMS的主流器件，包括MEMS压力、麦克风、加速度计、陀螺仪、磁传感、红外、光器件、射频器件等。
本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/202008/416572.htm赛微电子(300456)代工2016年收购全球MEMS代工厂中排名第二的瑞典Silex，提供压力、惯性、红外、微镜、光开关、硅麦克风等多种MEMS工艺开发及晶圆制造服务。
与大基金共同投资建设的“8英寸MEMS 国际代工线建设项目”工程基本完成，月产能3万片，预计2020年三季度投产。
中芯国际(688981)代工中芯国际的MEMS方案主要集中在MEMS麦克风、加速度计、陀螺仪、压力、显微镜、超声波传感器、射频器件。
中芯国际绍兴8英寸MEMS生产线已经建设完成并开始试生产（年出货51万片）。
华润微(688396)IDM&代工无锡3条6英寸线，涵盖Analog 、 BCD 、 MEMS 、 DMOS 、Power Discrete 等制造工艺，MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线，并已自主研发多套具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。
华虹半导体(01347.HK)代工华虹宏力在8英寸CMOS-MEMS制造平台上，成功实现了MEMS器件与标准CMOS工艺及生产线的全兼容，已流片的产品包括磁力计、加速度计、压力传感器等。
上海先进半导体代工上海漕河泾有5英寸、6英寸、8英寸和MEMS独立生产线各一条，超过10年的MEMS加工经验，具备外延、深槽刻蚀和双面光刻工艺能力，可以满足3轴陀螺仪、流量传感器、压力传感器及光学MEMS等代工要求。
睿创微纳(688002)IDM睿创微纳采用与晶圆代工厂共建产线的模式，8英寸MEMS晶圆生产线已投入量产（非制冷红外热成像探测器芯片），产能达到每月1500片晶圆，可年产各类芯片360万颗。
2020年7月24日，与烟台开发区签署协议，建设一条8英寸MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线，满足研发和中试要求。
河北美泰IDM中国电子科技集团第十三研究所全资子公司，拥有6英寸MEMS生产线，月产能达到1万片，主要产品有惯性、测试测量传感器、压力、汽车传感器、RF器件、光MEMS器件等。
罕王微电子IDM&代工2016年收购美信旗下MEMS传感器业务，2018年8英寸纯MEMS规模化生产线建成投产，年产能36万片、30亿只MEMS芯片，可生产MEMS压力及应力、加速度、陀螺仪、流量、温度、湿度及气体等传感器。
厦门的西人马IDM已经在泉州建设了8英寸向下600100同方股份董秘回答表示，同方股份公司在布局MEMS等新的产业领域和方向，公司设立了北京同方华创科技有限公司，致力于MEMS技术成果的产业化转化，技术来源于清华大学精密仪器系MEMS国家重点实验室，在军工、航天航空以及高端汽车领域有较大的应用需求