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福晶科技(002222)
深紫外光刻机镀膜技术研究取得新进展创意无忧百家号10-27 17:18关注193nm 光刻机是目前半导体产业的核心装备。为实现大的数值孔径，光刻机镜头通常包含大量接近于半球形状的凸球面和凹球面，这些球面导致同一镜面上光线入射角度范围高达0°到60°以上。目前通用的热蒸发行星镀膜技术会引起球面上严重的膜厚不均匀；同时在球面上的不同位置，高低折射率材料如LaF3 和MgF2 的折射率也发生明显改变，从而导致球面镜片上不同位置的宽入射角度范围的增透膜的光谱明显不一致。继2012年解决大口径球面镜片上的膜厚不均匀问题后，中国科学院光电技术研究所镀膜团队成员、中国科学院青年创新促进会会员柳存定致力于分析球面镜片上薄膜性质和位置的关系。通过扫描电镜分析球面镜片上不同位置的薄膜结构，发现随着位置从中心到边沿，呈柱状生长的单层氟化物薄膜倾斜角度逐渐增大；通过计算机模拟，确认矢量生长模型可以较好地符合光刻机镀膜过程。研究结果显示薄膜微结构如柱状结构的倾角增大导致了折射率非均匀性从镜片中心到边沿逐渐增大。相关结果发表在薄膜领域期刊Thin solid films上。193nm 增透膜的剩余反射率和波长曲线，内框为角分辨反射曲线。（a）利用传统的方法设计的关系曲线（黑色线）以及实验测量结果（红色点）；绿色线为利用新模型反向推演的结果。（b）利用新模型设计的光谱曲线和对应的实验结果。
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凸朗普屮凹巴马：
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。
中文名
衍射光学元件
外文名
Diffractive Optical Elements
英文缩写
DOE
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。