网友提问：
中科曙光(603019)中科院光电子研究所研制成功我们自主知识产权的光刻机明天一字板了
中科院光电子研究所研制成功我们自主知识产权的光刻机明天一字板了
网友回复
唱多者非骗即托：
2000/17型台式紫外深层光刻机
《红外》2005年12期 下载（88）被引（0）
据中科院光电所网站报道，该研究所为适应市场 需求，以市场为驱动，用具有国际先进水准的技术和质 量标准，成功地研发出一种URE20OO/17型台式紫外 光刻机. 该光刻机采用20OW直流高压汞灯(光能稳定性 很高，汞灯寿命长)、双目双视场显微镜对准、球碗调 平、单片机控制、触摸开关操作等技术，具有较高的技 术性能和较合理的价格。其特点是体积小、外形美观、 性能可靠、操作方便、经济实用等，因此特别适合从事 微电子技术、MEMS、声表器件、红外探测器及液晶 等研究的高等院校和研究机构使用
股友PsvslS：
威武！我国“超分辨光刻装备项目”通过验收
2018-11-29 21:13 中国
IT之家11月29日消息 据新华社29日消息，国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”29日通过验收。据悉，该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制，光刻分辨力达到22纳米，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10纳米级别的芯片。
总所周知，我国在光刻机等领域长期落后，此次通过验收的“表面等离子体超分辨光刻装备”拥有完全自主知识产权，打破了国外在高端光刻装备领域的垄断，也为纳米光学加工提供了全新的解决途径。
该装备也为超材料/超表面、第三代光学器件、广义芯片等领域提供了制造工具。