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奥普光电(002338)长春光机所极紫外（EUV）光刻关键技术研究项目验收会
长春光机所“极紫外（EUV）光刻关键技术研究”项目验收会近日，“极紫外（EUV）光刻关键技术研究”项目验收会在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（以下简称长春光机所）召开，验收会由“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项（02专项）实施管理办公室组织。 会上，评审专家组肯定了项目取得的一系列成果，一致同意项目通过验收，认为该项目的顺利实施将我国极紫外光刻技术研发向前推进了重要一步。 极紫外光刻是一种采用波长13.5nm极紫外光为工作波长的投影光刻技术，是传统光刻技术向更短波长的合理延伸。作为下一代光刻技术，极紫外光刻被行业赋予拯救摩尔定律的使命。 长春光机所应用光学国家重点实验室研究员金春水告诉《中国科学报》记者：“极紫外光刻光学技术代表了当前应用光学发展最高水平，作为前瞻性EUV光刻关键技术研究，项目指标要求高，技术难度大、瓶颈多，创新性高，同时国外技术封锁严重。” 自上世纪90年代起，长春光机所开始专注于EUV/X射线成像技术研究，着重开展了EUV光源、超光滑抛光技术、EUV多层膜及相关EUV成像技术研究，形成了极紫外光学的应用技术基础。 2002年，长春光机所研制国内第一套EUV光刻原理装置，实现了EUV光刻的原理性贯通。2008年国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项将EUV光刻技术列为“32-22nm装备技术前瞻性研究”重要攻关
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股友小散：
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在长春市有这样一个基层党组织团队，共有95名成员，其中党员占了70%。在团队中，党员起到先锋模范的作用，带领成员攻坚克难，取得一个又一个成绩，这个团队就是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所空间光学研究三部（以下简称“空间三部”）团队。
空间三部团队是由原空间光学研究部从事“载人航天工程”的项目组发展壮大而来。近20年间，在王家骐院士、徐抒岩领域总师及董吉洪、颜昌翔等研究员的带领下，先后研制了“神舟五号”、“神舟六号”、“天宫一号”等有效载荷，获评全国先进基层党组织，荣获国家科技进步特等奖及二等奖、军队科技进步一等奖及二等奖、中国科学院杰出科技成就奖、吉林省科技进步一等奖等一系列荣誉，并获多项专利，为我国国防建设、经济发展和社会进步作出突出贡献。
研制火星探测高分辨率相机
空间三部团队主要从事空间站多功能光学设施、火星探测高分辨率相机等工程项目的研制任务。
团队相关负责人说，光学设施是空间站工程中最重要的科学应用大型综合设施，具有巡天、太赫兹等多种空间天文观测功能。空间三部团队目前承担光学设施项目的总体研制工作，同时承担主光机结构、主动光学、电子学等部分的研制工作以及整机集成装调测试工作。光学设施已于2017年7月通过方案设计评审，目前处在方案研制阶段后期，主要以模件试验验证工作为主，部分长周期组/部件已经开始初样研制。
火星探测高分辨率相机作为我国首次火星全球遥感与区域巡视任务中环绕器有效载荷之一，应用长焦距大摄远比离轴TMA光学系统，光机结构材料采用以碳化硅、碳纤维复合材料及碳化硅铝基复合材料为主的“全碳化”设计理念，实现相机高轻量化设计。相机配有TDI-CCD与CMOS成像探测器，具备全色与多光谱高分辨率线阵推扫成像与面阵视频成像的能力，可对火星表面、着陆巡视器及其运行轨迹进行细致的勘查。相机基于火星探测科学目标，规划精细，模式丰富，其研制指标居国内领先、世界一流水平。探测器计划于2020年从地球飞往火星，一步实现“绕、落、巡”三大工程目标，开展科学探测工作。
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股友小散：
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收起
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