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如今第三代宽禁带与超宽禁带半导体越来越得到重视,其中宽禁带半导体商用化程度越来越
如今第三代宽禁带与超宽禁带半导体越来越得到重视,其中宽禁带半导体商用化程度越来越高,包括氮化镓、碳化硅等,而超宽禁带半导体包括金刚石、氧化镓和氮化铝等研究也有了进展。
郝跃院士表示,对于器件来说,既希望有低导通电阻同时又希望有高击穿电压,但这永远是矛盾体,所以需要靠材料创新来解决导通电阻和击穿电压关系。
硅基氮化镓的未来有两条路,一条是高功率的模块化产品,一条是SoC化,集成更多被动元件、射频驱动等。
超宽禁带半导体电子器件而对于性能更高的诸如金刚石、氧化镓等器件来说,学术界也在进一步探讨。
郝跃院士介绍道,单晶金刚石材料生长目前已经可以实现在单个衬底上生成12mm*11mm*1.5mm的稳定单晶金刚石,结晶质量达到元素六电子级单晶产品水平,生长速度大渔20m/h。
郝跃院士表示,金刚石由于原子密度大,掺杂和导电比较困难,所以注意依靠“氢终端表面电导”制备场效应管,在氢终端金刚石场效应管的栅极下方引入具有转移掺杂作用的介质MoO3,RON降低到同等栅长MOSFET器件的1/3,跨导提高约3倍。